'Mesin Paling Rumit' Perang Dingin Teknologi Itu di Luar Jangkauan Tiongkok

Perkembangan itu dibuat lebih rumit oleh keanehan sinar ultraviolet ekstrem.Mesin litografi biasanya memfokuskan cahaya melalui lensa untuk memproyeksikan pola sirkuit pada wafer. Tetapi panjang gelombang EUV yang kecil diserap oleh kaca, jadi lensa tidak akan berfungsi.

Cermin, alat umum lainnya untuk mengarahkan cahaya, memiliki masalah yang sama. Itu berarti litografi baru membutuhkan cermin dengan lapisan kompleks yang digabungkan untuk lebih mencerminkan panjang gelombang kecil.

Jadi ASML beralih ke Zeiss Group, perusahaan optik Jerman berusia 175 tahun dan mitra lama. Kontribusinya termasuk sistem proyeksi dua ton untuk menangani sinar ultraviolet ekstrem, dengan enam cermin berbentuk khusus yang digiling, dipoles, dan dilapisi selama beberapa bulan dalam proses robotik rumit yang menggunakan sinar ion untuk menghilangkan cacat.

"Menghasilkan cahaya yang cukup untuk memproyeksikan gambar dengan cepat juga menyebabkan penundaan," kata van den Brink.

Namun Cymer, perusahaan San Diego yang dibeli ASML pada 2013, akhirnya meningkatkan sistem yang mengarahkan pulsa dari laser bertenaga tinggi untuk mengenai tetesan timah 50.000 kali per detik, sekali untuk meratakannya dan kedua kalinya untuk menguapkannya, untuk menciptakan cahaya yang intens.
Halaman Selanjutnya....